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適用于半導(dǎo)體行業(yè) |
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● 半導(dǎo)體工業(yè)凈化間的理想檢測(cè)儀器
● 理想的低濃度氣體檢測(cè)儀器(PPb級(jí))
● 抗干擾性強(qiáng)
● 使用插入式盒式紙帶，更換方便
● 盒式紙帶剩余量顯示 |
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類型 |
臺(tái)式、可移動(dòng) |
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檢測(cè)原理 |
使用盒式紙帶的光電度法原理 |
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檢測(cè)紙帶 |
盒式紙帶、VHS型快速更換型盒帶 |
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電源和能耗 |
AC100V，AC115V，AC220V，50/60Hz
(在檢測(cè)狀態(tài)耗能為35VA，在紙帶卷動(dòng)時(shí)耗能為60VA) |
尺寸·重量 |
約275(W)×220(H)×275(D)mm，約12kgs |
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檢測(cè)氣體 |
TLV值 |
檢測(cè)范圍 |
分辯率 |
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磷烷(PH3) |
300ppb |
0-900ppb |
5 |
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硅烷(SiH4) |
5ppm |
0-15ppm |
0.25 |
乙硼烷(B2H6) |
100ppb |
0-300ppb |
5 |
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砷烷(A3H3) |
50ppb |
0-150ppb |
1 |
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乙硅烷(Si2H6) |
5ppm |
0-10ppm |
0.1 |
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硫化氫(H2S) |
10ppm |
0-100ppb |
1 |
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氯氣(Cl2) |
0.5ppm |
0-100ppb |
1 |
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硒化氫(H2Se) |
50ppb |
0-300ppb |
2 |
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● CE認(rèn)證 |
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● 體積小，結(jié)構(gòu)緊湊
● 適用于測(cè)量低濃度氣體(ppb級(jí))，靈敏度高
● 檢測(cè)不受干擾
● 使用插入式盒式檢測(cè)帶，更換方便
● 檢測(cè)帶剩余量顯示檢測(cè)帶用完提示報(bào)警 |
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檢測(cè)原理 |
光電光度測(cè)量法 |
檢測(cè)紙帶 |
插入式盒式紙帶 |
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檢測(cè)范圍 |
見檢測(cè)氣體表 |
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精度 |
顯示值的±20%+1以內(nèi) |
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檢測(cè)帶使用時(shí)間 |
1個(gè)月(無報(bào)警) |
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報(bào)警點(diǎn) |
第1和第2報(bào)警 |
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自我診斷功能 |
傳感器故障，流量低，檢測(cè)帶故障，檢測(cè)帶耗盡警告，檢測(cè)帶安裝錯(cuò)誤 |
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外部輸出 |
4-20mA(****回路電阻為300Ω) |
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電源 |
AC100，110，117，220V或DC24V，訂購時(shí)需指定其中一種 |
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工作溫度濕度 |
5℃～35℃，30～+9090%RH(無凝結(jié)) |
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尺寸·重量 |
164(W)×198(H)×263(D)，臺(tái)式重6.5kg
164(W)×164(H)×261(D)，盤裝式重5.5kg |
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氣體名稱 |
檢測(cè)范圍 |
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NH3 |
0.5-4ppm |
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Cl2 |
0-0.8ppm(*) |
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0-1.5ppm |
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AsH3 |
0-150ppb |
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B2H6 |
0-300ppb |
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HCI |
0.25-1ppm |
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1.5-8ppm |
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HF |
0-9ppm |
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H2S |
0-10ppm |
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0-100ppm |
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PH3 |
0-500ppb(*) |
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0-900ppb |
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SiH4 |
0-8ppm |
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0-15ppm |
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| (僅例出代表性氣體) 注：(*)清潔器使用 |
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| ● CE認(rèn)證 |
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● 內(nèi)置微處理器控制
● LCD數(shù)字顯示
● 自我診斷顯示
● 泵吸式采樣系統(tǒng)
● 輕便型檢測(cè)儀
● 峰值保持和平均值顯示
● 聲/光報(bào)警
● 數(shù)據(jù)記錄輸出 |
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檢測(cè)原理 |
電化學(xué)原理 |
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檢測(cè)氣體和范圍 |
見檢測(cè)氣體表 |
濃度顯示 |
連續(xù)測(cè)量值，平均值和峰值顯示 |
控制功能 |
微處理器控制 |
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顯示 |
點(diǎn)陣LCD顯示，帶自動(dòng)照 |
精度 |
±10%以內(nèi) |
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反應(yīng)時(shí)間 |
30秒以內(nèi)(當(dāng)通入3倍報(bào)警點(diǎn)濃度的氣體時(shí)) |
采樣方式 |
內(nèi)置隔膜泵，吸入式采樣 |
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使用濕度 |
-10℃～+40℃，小于90%RH |
連續(xù)使用時(shí)間 |
堿性電池(標(biāo)準(zhǔn))約20個(gè)小時(shí)，Ni-Cd充電電池(選購)約10小時(shí)(在無報(bào)警和照明下) |
尺寸·重量 |
220(W)×200(H)×320(D)mm，約6kg |
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檢測(cè)氣體 |
檢測(cè)范圍 |
報(bào)警設(shè)定值 |
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磷烷(PH3) |
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
砷烷(AsH3) |
0-15.00ppm(1刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
硅烷(SiH4PH3) |
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm) |
5ppm |
乙硼烷(B2H6) |
0-30.0ppm(1刻度0.05ppm) |
10ppm |
氯化氫(HCL) |
0-5.00ppm(1刻度0.05ppm) |
2ppm |
氟化氫(HF) |
0-9.0ppm(1刻度0.05ppm) |
3ppm |
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| ※ 一臺(tái)SC-90型檢測(cè)儀能檢測(cè)一種指定的氣體，表中未列出的氣體請(qǐng)與本公司聯(lián)系 |
